刘淑杰，刘长林，赵云桐，张鹏，李宇杰

（1. 哈尔滨工业大学（威海）材料科学与工程学院，山东 威海 264209；2. 哈尔滨理工大学荣成学院 机械工程系，山东 荣成 264300；3. 哈尔滨理工大学荣成学院 电气工程系，山东 荣成 264300）

2017年 12月 13日，国家工业和信息化部等十二部门发布《增材制造产业发展行动计划》中提到，要加快推进增材制造装备用光电子器件的开发和应用。打印电子技术是一种基于印刷原理的新兴电子增材制造技术，该技术克服了传统光刻工艺因大量腐蚀液带来的环境污染[1]、“减材”材料利用率低以及生产工序复杂繁琐导致生产效率低等一系列问题。增材制造作为一种绿色制造技术，近几年已成为电子行业的研究热点，主要应用于电子显示器[2—3]、场效应晶体管[4]、射频识别卡[5]、电子标签[6]、大型户外显示屏[7]、太阳能电池[8]、传感器[9]以及透明电极[10]等产品的制造。不同互连金属材料的打印机制不尽相同。Zheng等[11]提出轻敲式(tapping mode)电子打印概念，打印过程中利用打印头球珠与基底摩擦力相互作用而转动，使笔筒内的液态金属墨水流出，实现电子电路打印。1994年提出的直接书写式液态金属打印方法[12]，主要是基于扫描探针的纳米光刻技术，使用原子力显微镜尖端或尖端阵列将化学试剂直接输送到衬底表面的特定区域。此外，还有微接触式液态金属打印法[13]、掩膜沉积法[14]、雾化喷墨式液态金属打印法[15]等。

上述打印技术的出现，促进了打印电子新材料如纳米导电墨水的研究与开发，其中以纳米银和纳米铜研究最为广泛。……