崔洪刚，汪永超，唐 浩

（1.广东工业大学，广东 广州 510006；2.河源广工大协同创新研究院，广东 河源 517025）

1 引言

不锈钢材料具有优良的抗腐蚀性、耐高温和耐磨性，并且可塑性好、表面光洁漂亮，被广泛应用于工业和生活当中。

对于不锈钢的表面加工，传统加工方法有：机械、化学、电化学加工等。机械加工容易造成不锈钢晶格组织损坏，并且表面有划痕、残留磨料等缺陷，不易获得较好的表面质量；化学抛光工艺加工效率较低，处理后的工件表面质量并不理想，需要损耗较多的化学试剂；相比前两种加工方法，电化学抛光的抛光效率和工件表面质量有所提高，但是也有一些缺点：能耗多、污染严重、成本较高、操作较复杂等[1]。

化学机械抛光（Chemicalmechanicalpolishing，CMP）技术，又称化学机械平坦化（Chemical mechanical planarization，CMP）技术，是一种协同机械作用与化学作用，实现材料表面光滑、高平整度的复合加工技术，也是现在唯一可实现工件表面全局平坦化的表面加工工艺[2]。在CMP过程中，抛光液中的氧化剂会与工件的表面发生化学腐蚀，形成一层较薄且容易去除的膜，抛光液中的磨料和抛光垫可以与该薄膜摩擦，使其脱离工件表面，从而实现表面材料的去除。由于工件表面凸起和凹陷区域的机械作用有所不同，凸起处的摩擦作用大、去除率高，而凹陷处摩擦作用小、去除率低，从而逐渐达到表面平整光滑的效果。将CMP技术用于不锈钢的表面加工，可获得纳米甚至亚纳米级的表面粗糙度[3-4]。在CMP中，最为主要的耗材就是抛光液，它占整个工艺成本的百分之四十左右，是各厂家颇为关注的领域[5]。……