岳 强 ，刘文翠 ，张 研

（1.浙江纺织服装职业技术学院 机电与轨道交通学院，浙江 宁波 315211；2.迁安首信自动化信息技术有限公司，河北 迁安064400；3.浙江纺织服装职业技术学院 雅戈尔商学院，浙江 宁波 315211）

1 引言

随着技术的进步和科技的发展，微/纳米在各个工程领域的迅猛发展，人类社会的发展基本步入了纳米时代，微纳米技术扩展到各个领域。在微纳米技术中，最常见的机构就是微动平台，它是一种行程小、精度高、分辨率高的微动机构。如：在精密与超精密机械切削加工中，微动平台可以应用为微进给或误差补偿装置，实现刀具的微纳米进给或加工误差的精密补偿[1]；在MEMS中，微动平台配合微动夹钳相用于微米乃至纳米级机械零件的装配或维修[2]；在扫描探针显微镜中，微动平台与微探针、微夹钳配合使用，用于进行样品表面形貌测量，以及对原子内部进行分离操作或移植[3]。

鉴于微动平台的诸多特点，需要多多借鉴微动平台的优点，如文献[4]研制的x-y-θ微动平台，该平台采用柔性薄板结构，通过压电执行器驱动配合电磁夹紧机构实现蠕动式进给，可获得了3个自由度；文献[5]研究并制造出一种柔性平板式二维平台，通过对微动平台的静、动态特性进行了实验测试，实验结果表明微动平台的定位精度达到了纳米级，一阶模态与二阶模态的固有频率分别为495.7Hz和521.8Hz；文献[6]用双圆弧柔性薄板结构，采取拓扑优化设计方法和有限元分析法相结合的方式，研制出二维并联压电微动平台，沿x、y方向能够实现的位移分别为22.67μm、23.26μm，最大固有频率约为1.35kHz；……