杨絮

【摘 要】光学薄膜是现代光学的重要分支，在人们生活中越来越重要，而减反射膜是光学薄膜中应用范围最广的光学镀层之一，从太阳能的硅电池到摄像机的镜头、从橱窗到仪表防护板，减反射膜都起到了重要作用。近年来，减反射膜在激光器等透明材料上的应用标志着光学减反射的研究取得了巨大的进步，因此减反射膜具有广阔的应用前景。

【关键词】减反射；增透；折射率；溶胶-凝胶

中图分类号： TB383.2 文献标识码： A 文章编号： 2095-2457（2017）23-0110-002

【Abstract】Optical film is an important branch of modern optics， which is more and more important in people's life. Antireflective film is one of the most widely used optical coatings in optical film. From solar cell to solar lens， To the instrument protection board， anti-reflective film has played an important role. In recent years， the application of antireflective film on transparent materials such as lasers has made great progress in the study of optical antireflection， so the antireflective film has a wide application prospect.

【Key words】Reduced reflection；Penetration；Refractive index；Sol-gel

0 前言

减反射膜，又称增透膜，其是根据光透过介质发生折射和反射从而减少或消除透镜、棱镜、平面镜等光学元件表面的反射光，增加这些元件的透光率，减少或消除系统的杂散光。减反射膜是应用最广、产量最大的一种光学薄膜，因此，科研工作者对减反射膜进行了大量研究，致力于设计新膜系，改进淀积工艺，使之用最少的层数，最简单、最稳定的工艺，获得尽可能高的成品率，达到最理想的效果。减反射膜包括单层减反射膜和多层减反射膜。单层减反射膜是镀在光学零件光学表面上的一层折射率较低的薄膜。如果膜层的光学厚度是某一波长的四分之一，相邻两束光的光程差恰好为π，即振动方向相反，叠加的结果使光学表面对该波长的反射光减少。适当选择膜层折射率，这时光学表面的反射光可以完全消除。然而，采用单层增透膜的减反射能力受到材料折射率的限制，因此其很难达到理想的增透效果，为了在单波长实现零反射，或在较宽的光谱区达到好的增透效果，往往采用双层、三层甚至更多层数的减反射膜，即多层减反射膜[1]。……