于 洋，宋庆明，王雅婷

(中昊光明化工研究设计院有限公司 大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司，辽宁大连 116031)

·研究与开发·

湿度仪种类和校准方法的研究

于 洋，宋庆明，王雅婷

(中昊光明化工研究设计院有限公司 大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司，辽宁大连 116031)

湿度是气体纯度的一项重要指标，其数值直接关系到企业产品质量和生产安全。由湿度衍生出的各种原理的湿度仪种类繁多，优缺点各异。本文主要介绍若干常见湿度仪的种类和原理，常用新型传感器的种类和原理，当前湿度仪校准的常规方法，同时介绍一种操作简单、经济适用、在线免拆、现场校准的新型化学转化湿度校准仪的相关原理，给出相关的校准流程，该方法可以解决目前湿度计校准的送检模式，并有望替代现有校准模式的趋势。

湿度；湿度校准化学转化；湿度校准法

0 引言

气体已渗透工业、农业、航天、微电子行业等各个领域中，每个行业对气体纯度都有不同程度的需求。湿度是气体各项指标中一个重要参数，直接关系到生产安全和产品质量[1]。虽然湿度的测定方法相对于其它杂质含量的测量起步较晚，且容易受压强、温度等多种因素影响，是最难准确定量的技术参数，但气体中水分含量确是各个行业要求特别苛刻和关键的指标参数，因此湿度测量是有必要的[2]。

随着时代的发展，科技的进步，各个领域对湿度测量精度、响应速度、准确度、使用环境、使用寿命等要求也越发严格，尤其准确度是每个用户最为关心的焦点，因此湿度计量和校准就是不得不面对的现实问题。……