尹宗杰，汪 霆，邢化朝

(1．广州特种承压设备检测研究院(国家节能传热及隔热产品质量监督检验中心)，广东 广州 510100；2. 赛默飞世尔科技(中国)有限公司，上海 201206)

XPS数据处理方法技巧

尹宗杰*1，汪 霆2，邢化朝2

(1．广州特种承压设备检测研究院(国家节能传热及隔热产品质量监督检验中心)，广东 广州 510100；2. 赛默飞世尔科技(中国)有限公司，上海 201206)

X射线光电子能谱仪(XPS)是表面分析中最主要的分析方 法，其中XPS数据分析和处理是广大科研工作者的难以攻克的难题。文中以实际数据为例，重点讲述通过XPS专业数据处理软件Avantage进行谱峰识别、元素及化学态谱峰重叠确认的处理方法和技巧。

X射线光电子能谱仪(XPS)；Avantage软件；谱峰识别；分峰拟合

目前X射线光电子能谱(XPS)技术[1]是应用非常广泛的的一种表面分析技术，其可以提供材料表面3～10 nm左右的元素组成及化学态信息。与其他表面分析手段俄歇电子能谱仪(AES)、二次离子质谱仪(SIMS)等相比，XPS 的最大特点便是能获取丰富的化学信息，并且对样品表面的损伤最轻微，定量分析效果较好。通过XPS与离子刻蚀手段相结合，被广泛地应用于化学分析、材料开发应用研究[2]、物理理论探讨等学术领域以及在机械加工、印刷电路技术、镀膜材料工艺控制、纳米功能材料开发等[3]工业领域，XPS都能提供全方位的解决方案。

X射线光电子能谱技术原理基于光电效应[4]，当一束特定能量的X射线照射到固体样品上时，便可将原子中的内层电子激发出来，激发出的光电子动能被能量检测器检测分析。……