阮兴祥，房慧*，黄灿胜，张富春，张威虎，杨延宁

（1广西民族师范学院物理与电子工程学院，广西崇左 532200；2延安大学物理与电子信息学院，陕西延安 716000；3西安科技大学通信与信息工程学院，陕西西安 710054）

溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜的研究

阮兴祥1，房慧1*，黄灿胜1，张富春2，张威虎3，杨延宁2

（1广西民族师范学院物理与电子工程学院，广西崇左 532200；2延安大学物理与电子信息学院，陕西延安 716000；3西安科技大学通信与信息工程学院，陕西西安 710054）

采用溶胶-凝胶法在锌片和硅片表面制备氧化锌薄膜。采用XRD、SEM等分析测试手段对比了不同的配置比和衬底对氧化锌薄膜的相组成和显微形貌的影响。实验结果表明：与Si片相比，Zn片衬底对样品的衍射峰幅度产生一定的影响；所制备出来的样品都在衍射角2θ＝34.4°附近出现衍射峰；当Zn2+浓度不同时，得到的ZnO薄膜的形貌不同。

薄膜；氧化锌；溶胶-凝胶法

0 引言

氧化锌作为第三代半导体材料，与氮化镓一起具有近似的禁带宽度和晶格常数，并且相对于GaN来说，ZnO具有更高的激子束缚能和熔点，具有优异的热稳定性、机电耦合性等。另外，ZnO薄膜制备出来较容易且该薄膜的外延生长所需要的温度较低，所以ZnO薄膜在太阳能电池、紫外探测器、光发光二极管等方面具有广泛的应用[1-2]。目前，有很多方法被用于制备ZnO薄膜，例如：化学气相沉积法、分子束外延法、溶胶-凝胶法等。在这些方法当中，溶胶-凝胶法由于具备合成温度低、成分可控、工艺简单等优点而成为制备ZnO薄膜的最常用方法之一[3]。……