张慧，宋晓波，张帅军，王典仁

（1.洛阳轴承研究所有限公司，河南 洛阳 471039；2.洛阳LYC轴承有限公司 技术中心，河南 洛阳 471039；3.航空精密轴承国家重点实验室，河南 洛阳 471039）

大型轴承先进制造技术已开始推广，公差等级为P2的轴承制造技术和公差等级为G5的钢球磨研技术等已在生产中应用，这就要求轮廓和粗糙度等二维表面形貌测量仪满足先进制造技术的要求，提升测量精度和测量范围。目前，市场上针对内径300 mm以上精密零件表面轮廓的测量主要采用便携式轮廓测量仪，此类测量仪分辨率低，粗糙度测量量程小，测量参数单一，不能满足现代制造技术的要求，为此开发了一种高精度大型轮廓测量仪。

1 测量原理

如图1所示，大型轮廓测量仪采用二维直角坐标测量原理。水平方向驱动箱由电动机通过同步带传动，带动精密滑动导轨进行水平方向的移动，并通过高精度的光栅尺进行测量，建立X坐标的精密测量基准。被测件表面形貌的测量通过高精度大量程差动电感式传感器实现，测量量程可达±10 mm。垂直方向的升降采用立柱导轨实现，立柱导轨采用大理石立柱作为基准面，采用编码器进行下位移量的测量和定位，通过大功率步进电动机和滚珠丝杠调节立柱的升降。

图1 测量原理示意图Fig.1 Diagram of measuring principle

测量时，被测工件置于测量工作台上，移动立柱装置，使传感器测头接近工件，然后通过操纵杆将电感传感器测头伸到被测部位，输入测量长度开始测量。测量过……