李伟忠，孙 鹏

（1．海军驻上海地区航天系统军事代表室，上海201108；2．北京航天控制仪器研究所，北京100039）

战术导弹用MEMS陀螺仪研制进展及关键技术

李伟忠1，孙 鹏2

（1．海军驻上海地区航天系统军事代表室，上海201108；2．北京航天控制仪器研究所，北京100039）

MEMS陀螺仪具有体积小、质量轻、启动快、可靠性高、价格低、易于大批量生产、能承受恶劣环境条件等突出优势，可广泛应用于防空导弹、反坦克导弹、便携式导弹、航空制导炸弹等制导武器。介绍了MEMS陀螺仪的基本原理、发展现状，分析了战术导弹对MEMS陀螺仪的应用需求，指出了MEMS陀螺仪在战术导弹型号应用中需解决微机械加工工艺、全温性能指标、复合力学环境等关键技术问题，对MEMS陀螺仪在战术导弹中的应用具有指导意义。

MEMS；陀螺仪；战术导弹

0 引言

MEMS技术是一个多学科交叉的前沿性领域，以微电子技术为基础，通过系统构架技术和算法软件技术，将微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源集成于一体，构成一个微型多功能机电系统。MEMS技术对复杂系统设计和精确制导武器的发展产生了巨大的推动作用。根据美国国防部公开出版物披露，已经有若干微型技术产品加入美军方武器库，按功能分，大致有3个方面：武器惯性测量、飞行器导航与稳定以及用于武器保养的分布式传感器技术［1］。

采用MEMS惯性传感器，是防空导弹、反坦克导弹、便携式导弹、航空制导炸弹、制导弹药等制导武器系统的必然选择。……