方建雷++孙凤玲++宋成君++张鹏++耿振亚

摘 要：为提高硅压阻式传感器在宽温区上的精度，利用传感器高精度集成芯片实现智能数字化补偿，将传感器及其外围器件抽象为数学多项式，通过多项式拟合来消除误差。全文介绍了该系统的硬件组成、通信协议和软件设计。实验结果表明，该系统数据传输稳定，生产效率高，可满足硅压阻式传感器小批量智能补偿。

关键词：压阻式传感器 高精度集成芯片 智能補偿

中图分类号：TP242 文献标识码：A 文章编号：1674-098X（2017）01（a）-0065-03

当今的现代化产业中，压力传感器扮演了很重要的角色。由于MEMS压力传感器具有高性能、低成本和小尺寸等优点，被广泛地应用于汽车电子、工业控制、消费电子、航天航空和医疗等领域。

MEMS压力传感器是微系统世界里第一个出现的MEMS器件，该项技术已相当成熟，且市场空间很大。预计到2018年的市场规模可达到30亿美金。MEMS压力传感器在消费电子领域，尤其是智能手机和平板电脑，将跟随加速度计和陀螺仪的步伐，出现一轮新的爆发增长。以半导体单晶硅为主体材料形成弹性层，也作为力-电的转换元件，在其上也可以利用集成信号处理电路。弹性元件是用微机械加工的办法将单晶硅刻蚀成一个周边固支的圆形、矩形或双岛结构等的弹性膜片，在膜片上制作与流体压强成正比变化的应变电阻器作为将压力信号转换成电信号的转换元件，再经电路放大、调理，输出所需要的信号或在仪表上进行显示。……