汤亿则，徐志强，黄红兵，谷丰强，曾次玲

（1.国网浙江省电力公司 信息通信分公司，杭州310008；2.国网浙江省电力公司，杭州310008；3.北京科东电力控制系统有限责任公司，北京100192；4.国网湖南省电力公司，长沙 410007）

基于COMS相机的激光光束质量自动测量系统设计

汤亿则1，徐志强2，黄红兵1，谷丰强3，曾次玲4

（1.国网浙江省电力公司 信息通信分公司，杭州310008；2.国网浙江省电力公司，杭州310008；3.北京科东电力控制系统有限责任公司，北京100192；4.国网湖南省电力公司，长沙 410007）

针对目前光束质量测量系统在手动光路准直方面的耗时和对准精度不高等问题，提出了一种基于CO M S相机自动采集的实时测量和分析的激光光束质量测量系统。通过对激光光斑进行实时显示和快速分析，表明系统在光束对准基础上可以自动获得激光光束质量参数M2因子。

激光技术；光束质量；M2因子；光路半自动准直；自动测量

0 引言

随着激光技术的不断发展及其在各个领域内应用不断拓展，人们对激光光束质量的要求也越来越高。在激光光束质量的测量评价标准中，M2因子能较科学合理地描述出激光光束质量[1]，被国际标准化组织1991年的ISO/TC172/SC9/WG1标准草案采纳后就一直成为人们研究的热点[2～4]，而针对M2因子的测量方法目前已成为一种非常有用和常见的光束质量测量方法。由于当前的M2因子测量法都是基于傍轴光束[5，6]的，故而在测量之前，需要对激光光路进行调整，以使激光束垂直入射探测器。目前商用测量系统基本上都是采用手动准直光路，这样不仅精度难以得到保证，并且还需要花费大量的调整时间。……