张飞虎　李　琛　赵　航　冷　冰

哈尔滨工业大学，哈尔滨，150001



K9玻璃磨削亚表面损伤深度预测模型及实验研究

张飞虎李琛赵航冷冰

哈尔滨工业大学，哈尔滨，150001

基于压痕实验原理，建立了K9玻璃亚表面损伤深度预测模型。为获得预测模型中的未知参量，开展了K9玻璃磨削实验。利用激光扫描共聚焦显微镜检测工件磨削后的表面粗糙度值，利用扫描电镜检测磨削后的工件表面微观形貌和亚表面损伤层形貌，分析了工艺参数对表面粗糙度值和亚表面损伤深度的影响规律。考查了工艺参数对法向磨削力的影响规律，并根据实验数据，采用多元线性回归拟合法得到法向磨削力的经验公式，进而确定了亚表面损伤深度预测模型的参数。模型预测值与实验值具有较好的一致性，表明预测模型具有一定的可靠性。

损伤层深度预测；K9玻璃；磨削；表面粗糙度

0　引言

近年来，光学玻璃、工程陶瓷等硬脆性材料，以其独特的性能，比如高硬度、低密度等，在航空航天、军工设备等领域应用较为广泛[1-3]。然而硬脆材料的低断裂韧性和脆性使得其难加工性较为突出。目前，硬脆材料的加工大多采用磨削加工，而磨削中引入的亚表面损伤一直是机械加工中的瓶颈问题，研究硬脆材料的亚表面损伤并对其深度进行有效检测，对其高效和精密加工具有重要的意义[4-5]。目前亚表面损伤深度的测量方法大致分为破坏性检测和无损检测两大类，在实际加工中这两种方法均具有一定局限性。……