梁桂转，庄剑毅，李军涛

（广州市昊志机电股份有限公司，广东广州510000）

硅晶片切割机主轴结构优化

梁桂转，庄剑毅，李军涛

（广州市昊志机电股份有限公司，广东广州510000）

硅晶片切割机用于对硅锭进行切割，硅锭属于硬脆性材料，且切割过程是上千条钢线一起切割，这使得钢线的载体要承受相当大的载荷。对已有结构的硅晶片切割机进行结构优化，提高硅晶片切割机主轴的使用寿命，减少硅晶片切割机停机维修的成本，最终为企业提高经济效益。

主轴寿命；轴承应力；结构优化

硅晶片切割机是以高速运动的钢线为载体，以砂浆为切割刃，通过钢线与硅锭的相对运动来实现对硅锭的切割加工，以获得一定几何形状的硅晶片。硅晶片是微电子信息（IC）产业和太阳能光伏（PV）产业的重要元件，随着新能源需求的日益增加，硅晶片的需求也日益增加，为了满足硅晶片的市场需求，硅晶片生产企业必须提高硅晶片的生产能力，因此硅晶片切割机的加工能力也越来越受到硅晶片加工企业的重视［1］。

1　硅晶片切割机加工原理

硅晶片切割机主要由前轴承箱、后轴承箱、导轮、缠绕在导轮上的切割钢线以及控制系统组成，切割机在工作过程中，前后轴承箱主轴支撑导轮作旋转运动，用于切割加工的过程往往是多线切割而不是单线切割，多线切割即缠绕在导轮上的钢线数量有上千根，由于硅锭很硬，切割过程钢线要承受硅锭给的反作用力，最终作用在主轴上［2］。……