雷洁红

(西华师范大学物理与空间科学学院，四川南充637002)



氢化锂薄膜防水解技术的研究

雷洁红

(西华师范大学物理与空间科学学院，四川南充637002)

运用磁控溅射方法溅射在贴有聚乙烯膜的硅片上沉积氢化锂薄膜，并在氢化锂薄膜的表面沉积不同厚度的铝膜。采用x射线衍射和红外光谱测试，分析研究了不同厚度铝膜对防止氢化锂薄膜分解所起的作用。研究结果表明，随着铝膜厚度的增加，氢化锂薄膜与水或CO2反应变质的几率越小，铝膜厚度为55 nm时，样品测试结果显示铝膜对氢化锂薄膜起到了一定的保护作用，延缓了氢化锂薄膜与空气中水和CO2等杂质的反应。

铝薄膜；氢化锂薄膜；水解；磁控溅射

引言

氢化锂薄膜由于其优良的物理化学性质(如在真空和惰性气氛中相对稳定，氢密度比液氢密度高40%，同位素6Li和7Li可以俘获中子，发生核反应生成氚，起到增值氚和屏蔽中子或中子减速剂的作用，对软x射线短波具有高透过性等)，日益受到人们的关注，在国防工业、微动力资源、光学器件等方面有广泛的应用前景[1-4]。氢化锂薄膜由于其对软x射线波段具有高透过性，故有望成为软x射线多层膜的间隔层材料[5-7]。目前在软x射线长波段(20～30 nm)，多层膜的反射率不高。因此，在软x射线短波段(20～30 nm)寻找新的间隔层材料很有必要。在ICF研究中，氢化锂薄膜能够储存较多的聚变燃料，而且同位素6Li和7Li与中子反应生成氚，可以参与聚变反应或回收再利用，6Li和7Li也可有效地利用中子，并起到慢化、屏蔽中子的作用[8-9]。……