童新宇彭川黔，3何玉梅王 劼（中国科学院上海应用物理研究所 张江园区 上海 20204）2（中国科学院大学 北京 00049）3（重庆理工大学 重庆 400050）

长程面形仪测量数据的拟合方法

童新宇1，2彭川黔1，2，3何玉梅1王 劼1
1
（中国科学院上海应用物理研究所 张江园区 上海 201204）2（中国科学院大学 北京 100049）3（重庆理工大学 重庆 400050）

为了寻找一种适用于长程面形仪（Long Trace Profiler， LTP）测量数据的曲线拟合算法，提高同步辐射用光学反射镜表面几何参数拟合的准确性，并合理可靠地评价同步辐射用光学反射镜表面质量，本文对镜面曲率半径、测量环境噪声和镜面测量姿态这三个可能影响镜面几何参数拟合精度的因素进行了数值模拟，采用基于代数距离的最小二乘法、基于几何距离的最小二乘法和遗传算法对模拟面形进行了拟合对比。结果表明，基于几何距离的最小二乘法对以上三个因素均不敏感，最适合长程面形仪测量数据的拟合。该方法能够给上海同步辐射光源反射镜的面形检测提供一定的参考价值。

长程面形仪，曲线拟合算法，同步辐射，表面质量

随着同步辐射技术的应用研究不断深入，科研工作者对同步辐射光束线的性能要求越来越高，在某些领域光束线聚焦后的光斑尺寸需求由微米量级提高到纳米量级［1-2］，这对同步辐射用光学反射镜的表面质量提出了很高的要求。镜面面形误差的均方根（Root Mean Square， RMS）是评价镜面质量的一个重要指标，美国布鲁克海文国家实验室提出用于第三代同步辐射光源的光学反射镜的面形误差RMS值应优于50nm［3-4］，这使得精确地检测反射镜面形并合理地评价其表面质量显得尤为重要。……