黄　明，陈　华，郑永成

(中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所，四川 绵阳　621900)



磁流变抛光机床防碰撞控制策略与方法*

黄明，陈华，郑永成

(中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所，四川 绵阳621900)

研究磁流变抛光机床防碰撞控制策略与方法，是确保磁流变确定性抛光质量与效率、实现抛光工艺过程高安全可靠性的重要途径。针对磁流变抛光机床结构与磁流变抛光工艺的特殊性，系统研究了碰撞的原因及对策，提出了基准可靠传递与校核、软硬结合防护、分级授权和全流程自动控制相结合的系统防碰撞控制策略，提出并设计了基于激光测距的法向轮廓在位测量单元真实预验证抛光效果，设计了坐标基准自动校核模块、自动对刀测量单元及机床异常状态安全回退模块等碰撞预防、预知及主动应急处理安全功能，实验验证了文章提出的防碰撞控制技术的有效性，实现磁流变抛光自动化、具备适度智能化。该技术在中国工程物理研究院研制的系列磁流变抛光机床上得以验证与工程应用。

防碰撞；磁流变抛光；对刀测量；轮廓在位测量

0　引言

磁流变抛光技术作为一种超精密确定性抛光技术，能快速获得数十纳米以下的高精度面形和1纳米以下的表面质量且近无亚表面缺陷、具有其它确定性抛光技术(如数控抛光)无法比拟的高精度、超光滑和高效率加工工艺优势，可加工对面形精度和粗糙度要求极高的各类平面、非球面等光学元件，满足激光聚变、航天航空、太空探测等领域对大量高性能光学元件的需求[1-2]。……