丁　万，周　勋，王　一

(1黔南民族医学高等专科学校 公共课教学部，贵州　都匀　558000；2贵州师范大学 物理与电子科学学院，贵州　贵阳　550001；3贵州大学 大数据与信息工程学院，贵州　贵阳　550025)



电化学液膜法腐蚀制备STM探针及其扫描应用

丁万1，周勋2，王一3

(1黔南民族医学高等专科学校 公共课教学部，贵州都匀558000；2贵州师范大学 物理与电子科学学院，贵州贵阳550001；3贵州大学 大数据与信息工程学院，贵州贵阳550025)

高质量的扫描探针是保证扫描隧道显微镜的超高分辨率的关键。为了制备出原子级分辨能力的探针，本文设计了新型制备扫描隧道显微镜探针装置。该装置在成功避免了传统制备方法的缺点同时，在制备可控性上有了很大的提高。基于此装置，采用电化学腐蚀的方法制备出扫描隧道显微镜探针，扫描电镜表征探针针尖显示尖端异常尖锐。应用于实际GaAs(001)表面扫描可以获得原子级分辨的扫描图，从而进一步证明了利用该新装置可以制备高质量STM探针针尖。

液膜法，STM探针，电化学法，可控性

0　引言

扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Micr-oscopy，STM)具有超高的分辨率，在材料分析和表征上具有广泛的应用。STM的分辨率与其探针几何形状密切相关。STM探针通常采用铂铱合金丝或高纯度的钨丝来制备，针尖顶端的原子个数越少，成像的分辨率就越高，完全理想状况下针尖顶端只有一个稳定的原子。STM探针的制备方法有很多偶然性和不确定因素，这些因素增加了制备高质量针尖的难度。人们通常采用机械剪切的方法制备铂铱合金丝探针，但机械剪切方法的重复性很低，不容易制备高质量的探针。……