张占立，熊明照，王恒迪，王锋，邓四二

(1.河南科技大学 机电工程学院，河南 洛阳 471003；2.机械装备先进制造河南省协同创新中心，河南 洛阳 471003)

陶瓷轴承具有硬度高、密度小、耐高温、耐腐蚀、抗磁、绝缘等特点，且其运转温升低，受热膨胀小，高速运转时离心力小，具有很好的稳定性。因此，可以很好地适用于普通钢制轴承无法正常使用的工况[1-2]。然而，陶瓷轴承的加工一直制约着其发展，陶瓷滚子轴承的滚子抛光技术仍不够完善。目前利用金刚石砂轮对陶瓷滚子进行抛光是最常用的方法，但效率低，且会在滚子表面产生划痕和裂纹，对滚子的强度和表面精度产生很大影响，进而影响轴承的使用寿命[3]。磁流变、化学与超声波复合抛光技术，是将化学、声学、电磁学、流体力学等多种作用综合应用于陶瓷滚子的抛光过程中，能够在保证抛光效率的同时显著提高滚子的表面质量[4-5]。

下文通过抛光工艺试验，研究抛光过程中各工艺参数的变化对陶瓷滚子表面粗糙度Ra和材料去除率的影响，优化得到了符合氮化硅陶瓷滚子要求的最佳工艺参数。

1 材料去除机理

磁流变、化学与超声波复合抛光陶瓷滚子加工过程复杂，是物理、化学、流体力学等多种材料去除方式共同作用的结果。目前为止，主要存在有3种理论，分别是机械作用理论、化学作用理论和流变理论[6-7]。从材料去除的方式来看，主要分为磁流变抛光作用的剪切去除、超声波抛光作用的冲击去除和抛光过程中一系列化学反应的去除。……