陈昉

摘 要：随着机械加工工业技术升级需求与工艺水平标准的不断提高，超精密机械加工技术日趋成为机械加工工业的发展方向。在当前技术条件下，探讨提高超精密机械加工精密度的技术措施成为提高高超精密机械加工技术水平的关键。本文从多个方面，粗浅的分析了提高超精密机械加工精密度的技术措施。

关键词：超精密机械加工；精密度；发展趋势

随着超精密机械需求的增加和电子技术的发展，精密机械加工技术日臻成熟。当前，为顺应机械加工技术继续升级的需求，超精密机械加工技术和需求也快速发展。比如：超大规模集成电路中要求在1mm2平面上集成几十万个以上的元件，线条宽度只有1μm，形状和位置误差小于0.05μm。这就对传统机床加工精度提出了更高的要求，加工工艺等也必须相应采取有效措施来保证加工要求。

因此，本文试图从以下几个方面，粗浅的分析当前技术条件下，如何提高超精密机械加工技术的工效率与精密度。

1 超精密机械加工技术的突出特点

1）加工技术超精密化。该技术相对传统精密机械加工技术，最核心的区别就是：加工对象、加工要求在尺寸、外型上的超精密化。

2）加工手段高智能化。传统人工凭经验、手感、目视的操作方式已无法再胜任超精密机械加工的需要，必须以更水平的自动化、智能化加工设备来确保机械加工的稳定与效率。

3）加工全过程的信息化。更水平的自动化、智能化加工设备、更加复杂繁琐加工流程，使得超精密机械加工全过程必然产生大量的输入、控制和反馈信息。……