摘 要：微机械加工技术是在集成电路技术基础上研发出来的新兴技术，其在人们的生活和工作的不同领域中都发挥了非常重要的作用，因此受到了学术界和社会的普遍推崇与认可。不仅如此，其他发达国家也对微机械加工技术投入了大量的研究资金，由此看出微机械加工技术的确受到了大众的关注与欢迎。本文主要以微机械加工技术在传感器中的应用为研究重点，分析了其中存在的问题，希望为这一技术的应用提供借鉴信息。

关键词：微机械加工技术；传感器；应用

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2016.06.025

0 引言

微机械加工技术的兴起要追溯到上世纪末，其快速发展的原因主要是因为微机械加工技术的使用涵盖了多个学科，这也是它能够广泛被公众关注的原因。其中有物理学、光学、力学以及生物学等等，这些学科都为微机械加工技术提供了一定的理论支持，使其在成熟发展后能够运用于各个领域，如汽车制造、航天技术、生物化学工程等。作为本世纪初的新兴技术，微机械加工技术由于其特有的特殊性，也逐渐体现出它在各个领域的重要性，因此收到了社会的广泛关注和重视。不仅是我国，其他发达国家也对微机械加工的研究投入了大量了人力和物力，但在研究过程中也难免存在一些问题，通过本文对此技术的分析和研究，希望为这一技术的应用和发展提供一定的借鉴意义。

1 微机械加工的基础技术

1.1 LIGA技术

LIGA技术在过去的几十年中始终是人们熟知和青睐的重要技术，它能够对金融材料进行加工，也能够对陶瓷、塑料等非金属材料进行加工。……