刘小青　邓志刚　罗婷婷　谢峻林

(武汉理工大学材料研究与测试中心，武汉 430070)



JEM-2100f透射电镜测角台的维护与故障处理

刘小青邓志刚罗婷婷谢峻林

(武汉理工大学材料研究与测试中心，武汉 430070)

摘要：简述了JEM-2100f透射电镜测角台结构及样品杆进样、取样工作原理，分析了引起测角台故障的原因，阐述了测角台故障处理方法及日常维护技巧。

关键词：透射电镜；测角台；维护；故障处理

JEM-2100f透射电镜测角台(以下简称测角台)是透射电镜成像系统的重要组成部分，是JEM-2100f透射电镜能够在纳米及原子尺度进行物质微观形貌观测和晶体结构研究的关键部件之一。测角台一旦出现故障势必导致透射电镜无法正常工作，熟悉测角台结构及其工作原理，掌握测角台的维护与故障处理技巧由此显得非常重要。

透射电镜维护与故障处理专业性很强[1-8]。对测角台而言，如果不是机器老化或测角台本身质量问题，测角台故障主要与样品杆前处理不够，以及进样、取样操作不当有关。根据实际工作经验，本文重点讨论测角台故障处理方法与日常维护技巧。

1测角台结构及样品杆进样、取样工作原理

测角台如图1所示，它由样品杆进出通道、样品真空预抽室和一系列控制部件等组成。样品杆进出通道由通向镜筒的球阀、连接球阀的铜管和套在铜管外面用于样品杆进出时旋转定位的钢质套管组成。进出通道靠近球阀的部分属于样品真空预抽室(Pi4)。钢质套管在进样口处有一个“┐”形的缺口(图2)，相应的铜管在进样口处也有一个几乎等长的“─”形缺口。……