黄特生，高 健，周志强，张揽宇，陈小国

（广东工业大学机械装备制造与控制技术教育部重点实验室，广州 510006）

面向电子制造的高速精密宏微运动平台研究*

黄特生，高 健，周志强，张揽宇，陈小国

（广东工业大学机械装备制造与控制技术教育部重点实验室，广州 510006）

在分析宏微复合驱动技术的基础上对高速高精度定位的宏微复合运动平台进行了研究，并研制了基于音圈电机驱动和压电陶瓷驱动的宏微复合运动平台。该平台的宏运动由音圈电机驱动，可实现高加速度和大行程运动；微运动由与音圈电机主轴相连接的压电陶瓷驱动，用以补偿宏运动所产生的定位误差并抑制宏微运动切换所产生的振动，达到平台的精密定位目标。最后，基于所搭建的宏微复合定位系统，开发了平台的控制系统软件，并开展了一系列的实验测试。结果表明，本研究开发的宏微复合定位平台具有良好的工作性能，可满足电子制造高速高精密定位的需要。

宏微复合运动平台；音圈电机；压电陶瓷驱动器；电子制造

0　引言

近年来，在我国大力发展信息产业方针的指导下，IC制造进入了蓬勃发展的新时期［1］。随着IC制造中芯片光刻与封装、MEMS制造中的器件封装与组装、生物医学工程中的高速点样移液、高速精密加工及高速扫描检测等领域的迅速发展，对执行系统的运动行程、速度、加速度和定位精度提出了极高的要求［2-3］，高速高精度定位系统的研究已成为先进制造技术领域的研究热点。……