吴晓芳，吕玉山，舒启林

（沈阳理工大学机械工程学院，沈阳 110159）

光纤端面透镜微磨削加工试验研究*

吴晓芳，吕玉山，舒启林

（沈阳理工大学机械工程学院，沈阳 110159）

光纤是现代通信技术的重要信息传输载体，而光纤透镜是重要的耦合器件之一。在分析了光纤透镜传统加工技术的基础上，提出了用微磨削技术加工光纤透镜的方法，针对直径125μm的单模光纤，展开了微磨削试验，并结合材料力学理论分析了悬伸长度对成型精度的影响，运用正交法研究了主轴转速、进给速度、磨削深度对表面粗糙度的影响规律。试验结果表明使用该方法能够获得满足精度要求的光纤斜面透镜和锥面透镜，且光纤的悬伸长度与透镜的成型精度呈正相关关系，磨削用量对表面粗糙度有较大影响。

微磨削加工；光纤透镜；成型精度；表面粗糙度

0　引言

随着光信息时代的到来，光纤通讯与光纤传感领域已经成为二十一世纪全世界研究的热点。光纤因其损耗低能进行远距离传输、频带宽传输信息容量大以及不受电磁干扰等众多优点成为现代通信技术的重要信息传输载体，受到了人们越来越大的重视。为提高半导体激光器与光纤的耦合效率，目前广泛采用光纤透镜法，即将光纤端面处理成斜面、锥面、楔形、球形以及几种型面组合的透镜，特殊几何形状端面的光纤透镜可以改变光强分布状态和强度，改善信号的信噪比和改变光纤传输的作用［1-2］。

传统的光纤透镜加工技术主要包括光纤研磨抛光、熔融拉锥、光栅刻写、化学腐烛以及光刻技术处理等［3］。……