张强, 赵永武

(江南大学机械工程学院,江苏无锡214122)

工艺参数对SUS304不锈钢抛光速度与抛光质量的影响

张强, 赵永武*

(江南大学机械工程学院,江苏无锡214122)

为提高不锈钢的抛光质量与效率,配制新型环保不锈钢抛光液,对SUS304不锈钢进行化学机械抛光。研究压力载荷、抛光时间、抛光线速度、pH值等工艺参数对不锈钢抛光性能的影响,结果表明,SUS304不锈钢在最佳的工艺参数组合下,可以达到最佳的抛光效果。

化学机械抛光;SUS304不锈钢;抛光工艺参数;材料去除率;粗糙度

不锈钢由于其独有的“意匠性”、“耐腐蚀性”和“功能性”适用于许多领域,如在石油、化工、化肥、医药、造纸、原子能、海洋工程和装饰工程等领域都得到了广泛应用[1]。对于不锈钢的表面加工,传统工艺多为机械、化学、电化学加工,机械加工处理后工件的表面较易出现应力变形、金属晶格组织损坏,表面氧化生锈腐蚀,并出现毛刺,附着微小磨料、污垢和油脂等缺陷;单纯的化学处理工艺不仅耗时较长,且材料表面抛光较不理想;电化学抛光工艺虽然在一定程度上解决了机械抛光难于解决的问题,但也存在耗能高、污染重、投资高、操作工艺复杂等的衍生问题[2-3]。近年来,随着全球信息化产业的井喷式发展,作为最好的也是唯一的全局平面化技术,化学机械抛光(CMP)被广泛应用于ULSI(超大规模集成电路)行业中[4-5]。

化学机械抛光(CMP)作为一种潜力巨大的新型表面技术,特别是在新型环保的化学机械抛光(CMP)不锈钢抛光液研究、制备、工艺参数等相关领域,目前尚未有太多关于不锈钢领域的研究文献或相关报道。……