薛晨阳，钱 坤，刘 俊，唐 军，石云波，李 杰

(1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 太原，030051)(2. 中北大学电子测试技术重点实验室 太原，030051)



◀专家论坛▶

极端环境下的惯性测量传感器件与系统*

薛晨阳1，2，钱 坤1，2，刘 俊1，2，唐 军1，2，石云波1，2，李 杰1，2

(1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 太原，030051)(2. 中北大学电子测试技术重点实验室 太原，030051)

面向惯性传感与测量系统在超高过载、超高转速等极端应用环境下，介绍了几种典型的瞬态高量程与大动态范围条件下的惯性传感与测量系统技术。重点分析和讨论了极端环境下的超量程与大动态测试所需的特种传感方法与微纳集成制造技术，结合特殊的封装防护与系统集成方法,实现外部恶劣环境影响因子的衰减，以及新型的高过载、高旋运动载体惯性参数的传感与测量。

高旋； 高过载； 传感技术； 测试系统

引 言

惯性传感器件主要用来测量物体的运动姿态——加速度与旋转角速度，广泛应用于航空、航天、航海、卫星导航、军事及民用领域，高精度惯性器件的发展对国家的工业和国防具有重要的战略意义。微型化、低成本惯性器件越来越多被用于智能手机、汽车导航以及模拟3D环境等民用领域，正在潜移默化地改变着人类的生活。然而，在一些特殊的应用场合，飞行载体在大气层再入、潜射出水、星箭分离、侵彻及爆炸等动态过程中[1-5]伴随的高温、高压、高冲击、高转速及复杂电磁环境等极端条件对物体的姿态测量带来了极大的挑战。……