冯善娥 张 锋 陈木子

（苏州大学分析测试中心，江苏 苏州215123）

我校于2005年购置Tecnai G220型透射电子显微镜（TEM），并安装了美国GATAN公司1K＊1KCCD相机以及美国EDAX公司X射线能谱仪（EDS），9年来状态一直良好。期间也曾出现过一些问题，现将其可能出现的状况与解决方法介绍如下，以供参考。

1 常见故障处理

1.1 电镜无法启动

确认电源是否接通，检查断路器（空气开关）状况，检查循环水工作是否正常、是否漏水，以及机械泵和空压机工作是否正常，检查空压机压力表及电镜左下方压力表压力够不够，如果压力够则可能是机械泵损坏或扩散泵不加热。

1.2 电脑死机

面板上的功能不起作用或屏幕显示乱码，原因大多是死机造成的。首先关闭操作台面后方的V 7阀门，再重新连接电脑与主机。若计算机不能跟电镜通讯，即TEM Server图标变灰，则需重启VME和电脑，从programs进入Administrative Tools，选择services，点击Tem Server，将Startup type选择为Automatic，打开Temspy，将preserve state勾选，再按操作面板上的Vac.开始抽真空，打开V 7阀，真空到达后缓慢加高压至200kV。若CCD或EDS的计算机不能跟TEM通讯，则先确认计算机跟电镜通讯正常，再重启CCD或EDS电脑［1］。

1.3 打开灯丝加热无电子束

先确认真空和高压正常，样品杆已插好，阀门打开，物镜、选区光阑处于打开状态，再检查灯丝是否有发射，如果没有则升高BIAS，若升高BIAS后还没有电子束，则可能是灯丝断了或其它问题。如果灯丝有发射或升高BIAS后得到发射量，打开聚光镜光阑，将放大倍数（Magnification）缩小至低倍，调整Gun Tilt使得曝光时间值最小，光束调至最亮，并进一步调整光路合轴，达到电镜最佳使用状态，若是光束偏转过多而找不到，可以重置光路。……