陈艳珊，廖恒易

(佛山市华特气体有限公司，广东佛山 528241)

八氟环丁烷化学性质稳定、无毒且消耗臭氧指数值为零，温室效应潜能值低，是一种绿色环保型特种气体，近来在高压绝缘、制冷、半导体制造领域得到广泛应用。

作为常用的半导体工艺的蚀刻或清洗气体之一，八氟环丁烷质量的好坏直接决定半导体器件的性能。在半导体制程中，进行气体蚀刻，以便部分除去薄膜材料，从而形成能构成半导体的电路团。同时，用清洁气体除去沉积物，以除去在薄膜形成期间沉积在反应器内侧的薄膜材料［1］。随着半导体器件的升级换代，对刻蚀和清洗气体的纯度要求也越来越苛刻，并提出了“超纯、超净、超前”的发展要求，以适应电子行业的飞速发展。

1 国内外发展状况

国外主要发达国家都有电子级八氟环丁烷的生产，如日本大金工业株式会社、日本昭和电工株式会社、美国SCP等。国内主要生产厂家有浙江巨化股份有限公司［2］，但其纯度低，并不符合半导体行业的使用要求，而国内生产电子级八氟环丁烷的厂家不多，产品质量与稳定性仍需提高。

2 八氟环丁烷纯化技术

八氟环丁烷的制备方法有很多，如四氟乙烯二聚、四氟环丁烷电化学氟化、二氯二氟甲烷高温催化反应，二氯四氟乙烷热解、聚四氟乙烯解聚热解、六氟丙烯生产和一氯二氟甲烷裂解过程中副产物的回收、1，2–二氯六氟环丁烷与 CCl3F和氟反应等［3］。因此会含有大量其它氟碳化合物，其沸点与八氟环丁烷相近，要获得杂质含量在10×10－6(V/V)左右的产品极为困难，此外，考虑气体杂质对半导体工艺的影响，O2、N2、CO、CO2、H2O、C3F6等同样是其重要杂质指标。……