吕彬 王加娜 房宝泉 郑佳魏 田苗苗

【摘 要】有机电致发光器件（OLED）是有机光电子器件中最早问世的器件之一，对于OLED的阳极，为了提高空穴的注入效率，通常都要求阳极的功函数尽可能的高。最广泛的被采用作为OLED中阳极的是氧化铟锡透明导电薄膜（ITO），研究表明提高阳极的功函数可以适当的降低阳极和空穴传输层之间的势垒，从而达到改善器件性能的目的。本文采用制备的氧化铟钒透明导电薄膜（IVO）去取代传统的商业ITO制备OLED，通过比较两个OLED的性能分析ITO与IVO在OLED应用中的优劣。

【关键词】氧化铟锡;氧化钒;透明导电薄膜;有机电致发光器件

1 应用于OLED的透明导电氧化物薄膜的研究现状

透明导电氧化物（Transparent Conducting Oxides，简称TCO）既具有高的导电性，可见光范围内又具备高的透光性，且在红外光范围内有较高的反射特性，在光電产业中应用前景非常广阔。OLED是有机光电子器件中最早问世的器件之一， OLED的基本原理与无机半导体发光二极管（LEDs）相似，都是通过两个电极分别向器件中注入电子和空穴，载流子在器件中经传输之后在器件中的发光层中复合而形成激子，然后通过激子的辐射衰变而发光。将商业化的ITO作为OLED的阳极时，一般要求ITO在可光光的平均透过率超过80%，方块电阻为10～100 Ω/□，电阻率应尽可能的低。由于ITO的薄膜的功函数（Φ）较低（ΦITO<4.7eV），在OLED的应用上会较大程度的影响器件的性能、寿命、稳定性等。

2 IVO透明导电氧化物薄膜的制备及光电特性

本文中，我们采用真空热蒸发法共制备了三种不同掺杂V浓度的IVO薄膜（样品A、B、C）。当薄膜制备完成，腔体经自然冷却至室温后将样品取出，通常认为在TCO薄膜中，透过率值的大小与薄膜中载流子浓度的高低成反比，所以具有最大载流子浓度的样品B的透过率较其它两个样品要低一些。……