唐 冬，刘 旸，徐 衡

（中国电子科技集团公司第四十七研究所，沈阳110032）

JBS结构肖特基整流器

唐 冬，刘 旸，徐 衡

（中国电子科技集团公司第四十七研究所，沈阳110032）

介绍了结势垒控制肖特基整流管（Junction-Barrier-controlled Schottky-Rectifier，JBS）的结构原理，论述了JBS结构肖特基整流器的正向特性和反向特性，通过对扩散掩膜尺寸m和扩散P＋区时窗口宽度S的工艺模拟，归纳出m、s变化对器件参数正向压降和反向漏电流密度的影响。并通过实际产品进行验证，得出JBS结构肖特基整流器漏电流小的特点，利于功率肖特基二极管得到更广泛的应用。

结势垒控制肖特基整流管；正向压降；反向漏电流密度

1 引 言

功率肖持基二极管（PowerSBD）由于正向压降低、功耗小、开关速度高，在直流低压大电流领域得到了广泛应用。但是，PowerSBD的低压降、小功耗是以低势垒为前提的。较低的势垒高度会使器件反向漏电流增加，最高工作温度降低。为了解决Power SBD正反向特性之间的矛盾，使其既具有低压降，又有较小的反向电流，必须对PowerSBD的器件结构加以改进，结势垒控制肖特基整流管（Junction-Barrier-controlledSchottky-Rectifier，JBS）就是为解决这一问题提出的一种新型肖特基势垒整流器件。

2 JBS结构原理

JBS是在普通PowerSBD的漂移区集成多个梳状的p-n结栅，见图1。结栅相邻P区之间的电流通道设计成在零偏和正偏时，保证不被夹断，允许正向电流通过栅间电流通道从器件的阳极流到阴极；在反偏时，当反偏压超过几伏时，p-n结栅相邻的结耗尽区交迭，引起耗尽层穿通。耗尽层穿通后将在沟道中形成势垒，并使耗尽层向n-衬底扩展。……