孙 凤 洪 涛 金俊杰 王 可 张晓友

(①沈阳工业大学，辽宁 沈阳，110870;②日本工业大学，琦玉，345-0826)

电磁悬浮驱动技术是以电磁力为支撑力的无接触驱动技术，不产生机械接触摩擦，无灰尘，无需润滑，易于实现紧凑型的多自由度驱动等优势，可在一定程度上弥补传统驱动技术的不足［1-2］。由于电磁驱动技术的以上优点，所以近年来国内外广大研究学者对其进行了广泛关注，并取得了许多研究成果。其中，日本东北工业大学的张晓友提出一种五自由度电磁驱动器，其利用电磁驱动技术控制电火花加工机床中电极在水平面内的移动及垂直方向的自由移动和转动，使电火花加工机床中电极与工件处于合适的位置，进而改善放电稳定性，提高加工效率［3-5］。浙江大学的郭亮构建了一种新型磁悬浮微动平台。该平台利用电磁铁提供垂直电磁吸力，使平台保持悬浮状态，并利用永磁直线电动机提供水平驱动力，使悬浮和驱动部分相互独立，进而避免了两者间的耦合问题［6］。山东大学的张云鹏在分析轴向混合磁轴承磁路以及各部分磁导的基础上，得出了轴向混合磁轴承的径向承载力解析数学模型，并进行了仿真计算与分析［7］。

本文提出了一种采用永磁悬浮电磁驱动平台。该驱动平台的悬浮力由永磁铁提供，水平驱动力由电磁铁提供。通过有限元分析对永磁铁的水平方向干扰力进行解析，并依据解析结果建立数学模型，进行系统的运动特性仿真分析研究。……