郑 乐 蓝朝晖 龙继东 彭宇飞 李 杰 杨 振 董 攀 石金水

（中国工程物理研究院 流体物理研究所 绵阳 621900）

真空弧离子源的电阻触发工作方式

郑 乐 蓝朝晖 龙继东 彭宇飞 李 杰 杨 振 董 攀 石金水

（中国工程物理研究院 流体物理研究所 绵阳 621900）

介绍了真空弧离子源的一种电阻触发工作方式。有别于典型金属蒸汽真空弧(Metal vapor vacuum arc, MEVVA)离子源的触发工作方式，该方式不需要高压触发脉冲发生器和高压隔离脉冲变压器，简化了电源系统。实验测量了采用电阻触法20-200 A主弧电流下的引出离子流，结果表明离子流随主弧流增大。研究了不同阻值触发电阻的起弧情况，实验结果表明在一定电阻阻值范围内，触发电阻越大，触发越难成功。电阻增大使得触发时间增长，主弧上升沿变缓，但是对引出的离子流几乎没有影响。

真空弧，离子源，触发，离子流

真空弧放电可以产生高密度与高电离态的等离子体。早在第二次世界大战期间，作为曼哈顿工程的一个组成部分，研究人员就曾经进行过利用弧光放电的离子源以产生等离子体的试验[1]。近年来，很多研究单位也陆续开展了这方面的研究工作[2]。该种离子源应用范围较广，可以根据所用阴极材料进行如下分类：使用金属电极的离子源，主要应用于材料表面改性以及高能物理研究中的金属离子注入等方面；使用导电非金属电极（通常使用碳电极）的离子源，主要应用于金刚石薄膜沉积技术；使用吸氢金属电极（吸氢金属一般使用Ti、Sc、Er等）的离子源，主要用于产生氢离子，应用于等离子体枪和中子发生器。……