半导体设备预测性维修技术
2012-09-19陈宛峰
电子与封装 2012年4期
陈宛峰,王 奕
(中国电子科技集团公司第58研究所,江苏 无锡 214035)
1 引言
随着科学技术的发展,设备制造技术越来越朝着高科技、高集成度方向发展,设备维修也带来前所未有的挑战,伴随着维修科学的发展,预测性维修作为一种新兴的维修方式成为行业研究的热点,相对于修复式维修和预防性维修它有着更多的优点和更强的发展势头。
2 维修方式的发展
按照设备的状态和维修的时机可以将维修方式分为故障前维修和故障后维修,按照维修依据的不同,故障前维修又可分为预防性维修和预测性维修。
修复性维修(corrective maintenance)又称事后维修,是“有故障才有维修”的方式,它是以设备是否完好或是否能用为依据的维修,只在设备部分或全部故障后再恢复其原始状态,也就是用坏后再修理,属于非计划性维修。
预防性维修(preventive maintenance)又称定时维修,是以时间为依据的维修,它根据生产计划和经验,按规定的时间间隔进行停机检查、更换零部件,以预防损坏、继发性毁坏损失。这种维修方法也就是目前所普遍采用的计划维修或定期维修,如大、中、小修等。
预测性维修(predictive maintenance)是以状态为依据的维修,在机器运行时,对它的主要(或需要)部位进行定期(或连续)的状态监测和故障诊断,判定设备所处的状态,预测装备状态,未来的发展趋势。依据设备的状态发展趋势和可能的故障模式,预先制定预测性维修计划。确定机器应该修理的时间、内容、方式和必需的技术和物资支持。……
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