马喜宝

(上海微高精密机械工程有限公司，上海 201203)

掩模传输模块是光刻设备关键组件之一，其性能和功能指标直接影响光刻机的效率和产能以及产品的质量，因此提高掩模传输效能和可靠性对光刻机的整体性能指标非常关键。而掩模传输交换版机械手的结构形状则决定掩模版传输的效率和精度，也决定掩模台吸版面的结构形状和同轴对准的时间，所以掩模传输交换版机械手运动性能和空间结构的组成对掩模传输甚至整个光刻机来说，就显得尤为重要。本文主要从掩模传输交换版机械手的需求、性能、结构和可靠性及可维修性等方面做一些探讨。

1 功能和性能需求

根据掩模传输交换版机械手使用要求，必须具备的功能和性能需求。

1.1 功能需求

上下载掩模版功能：把粗预对准台上的掩模版传送到掩模台上,同时，把处于和粗预对台不同高度的掩模台上原有的掩模版传送到粗预对台上。

精细预对准功能：把粗预对台上的掩模版传送到掩模台正上方，在不同的高度，通过预对准四象限测得掩模版预对准标记相对位置的偏移量，由掩模台进行补偿。

安全互锁功能：在掩模版进行旋转交接时，有旋转和升降两种运动，在这两个运动过程中，旋转和升降要进行互相锁定，即旋转时不能上升或者下降，同样在上升或者下降时不能旋转，而且，只能是两个升降运动单元同时上升到最高位时，才能进行旋转运动。

1.2 性能需求

上版精度：线性重复精度(x、y)±10μm；……