GaAs MMIC 设计及其可靠性研究
2012-09-05陈志勇
电子与封装 2012年11期
陈志勇
(南京电子器件研究所,南京 210016)
1 引言
微波器件作为微波通信设备的重要部件,其性能优劣在很大程度上影响着通信质量,其可靠性研究和设计也越来越受关注。研究发现在微波毫米波单片电路工作中有源器件失效起主导作用,因此研究有源器件的平均失效前寿命相当有针对性。通过对MMIC中有源器件的MTTF研究,希望从中找出影响其失效时间的主导因素,从而能从工艺方面指导提高器件和电路的工作寿命。由于GaAs PHEMT管高电子迁移率,以及其在高频的优越性能和高功率的特点,使其应用越来越广泛,对于PHEMT的研究也备受重视。由于PHEMT管的各项参数比普通的MESFET更加敏感,工作条件下的性能退化受各种电应力的影响更显著,这些退化均会对器件的失效时间产生影响,研究PHEMT管的失效机理和时间显得越来越迫切,尤其对单片中的集成管芯研究更是迫在眉睫。目前大部分对MMIC的老化都是在直流条件下,但是如果要做微波参数的相关评价,单用管芯是不够的,因此设计了一块单级功耗可调的功率放大器,保证有效地输入微波信号以及防止震荡,单级是为了保证失效部位集中便于分析,功耗可调是为了方便寿命加速试验应力恒定而设计。本文在可靠性方面暂时只做直流寿命的评价。
2 砷化镓0.25μm PHEMT及MMIC技术
图1是PHEMT的结构示意图,具体制作方法为:首先在半绝缘衬底上用MBE或MOCVD生长GaAs层500nm,用作缓冲层,然后在其上生长一层不掺杂的InGaAs层作为器件的……
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