余协正，叶迎华，沈瑞琪

(南京理工大学应用化学系，南京210094)

近年来，一些发达国家的科研机构相继提出了“微纳卫星”的概念［1］。与传统的大卫星相比，这些“微纳卫星”研制周期短、成本低、功能密度高、应用范围广、兼容性和扩展性强，还可采用一箭多星发射技术、甚至能够实现组网或编队飞行等［2］，引起了各国极大的重视。为了实现“微纳卫星”高精度的轨道保持、姿态调整以及引力补偿等，与之相适应的各种微推进系统也被开发出来［3］。其中一类基于MEMS(微机电系统)技术的固体化学微推进器具有结构简单，无可动部件，响应快，封装紧凑，容易与其他MEMS器件集成等优势，从各种微推进系统中脱颖而出［4］。

固体化学微推进器的经典结构是由Lewis［5］等人设计的，被形象地称为“三明治”结构，由底层点火电路，中间燃烧室和顶部喷口层这三部分组成，如图1所示。具有类似于拉瓦尔效应的顶部喷口层是其核心组件之一，其结构直接影响到整个微推进器的做功性能。对于它的加工一般利用(100)晶面的单晶硅片在KOH溶液中经各向异性刻蚀而来。为了提高推进剂的利用率，新一代的固体化学微推进器将点火电路移到喷口层的背面［6］，如果继续采用KOH溶液进行喷口的刻蚀制备，将会引入干扰电路性能的金属钾离子，这对逻辑点火电路的可靠性非常不利，因此，需要寻找一种适当的刻蚀液代替KOH溶液。

图1 “三明治”结构的固体化学微推进器示意图［5］

TMAH是一种新型的各向异性刻蚀剂，具有晶向选择性好、低毒性和对CMOS工艺兼容等优点，应用前景非常广阔［7］。……