成彦

Ka频段薄膜滤波器设计✴

成彦

（中国西南电子技术研究所，成都610036）

介绍了一种简单有效的Ka频段薄膜微带滤波器设计方法。通过选择恰当的滤波器模型，提取参数和初值，用ADS和Designer两种仿真软件结合进行设计，得到了理想的滤波器响应曲线。通过三轮滤波器投版测试得到工艺补偿准确值，用于修正仿真设计和滤波器实际曲线之间的偏差，最后达到了投片测试结果和仿真设计基本吻合的目的。

毫米波前端；Ka频段；薄膜滤波器；工艺补偿

1 引言

毫米波具有波束窄、可用频带宽的特点，在保密、抗干扰、大容量、精确指向等方面具有显著优势。目前，毫米波已广泛应用于雷达、制导、通信、遥感、频谱学及生物效应等领域［1］。

系统通常对毫米波前端的体积重量有较高的要求。滤波器是收发前端的关键部件，承担着滤除各种谐杂波、镜频等的作用，其性能的优劣对前端影响很大。波导膜片滤波器具有带内插损小、带外抑制度高、矩形系数好等优点，缺点是体积大，不能集成到电路中。

笔者曾经研制过采用duroid5880软基片制作的微带滤波器，用于替代波导滤波器，由于Ka频段微带滤波器尺寸小，加工精度要求高，软基片加工工艺和线条精度很难满足要求，因此滤波器实测曲线很难达到仿真设计值，通带插损、带内平坦度和带外抑制等均不能满足系统要求。由于加工精度低，也导致了各批次版图不一致，生产性差。

为了解决加工精度问题，改用具有更高精度的薄膜工艺来研制微带滤波器，本文研究了一种适合薄膜工艺的滤波器设计方法，通过三轮投版测试对仿真设计进行补偿修正，最后达到了实测结果和仿真设计曲线基本吻合的目的，验证了该滤波器设计方法行之有效。……