张成明，徐正发，王大明

（上汽通用五菱汽车股份有限公司，广西 柳州 545007）

随着社会的不断发展，制造行业竞争也越来越激烈，产品更新换代越来越快，制造精度要求提升到微米级；各类新材料、新工艺、新装备不断出现，带来设计、加工、检测、控制等方面的巨大冲击。2008年，美国高校（密西根大学）、主机厂（福特、通用等）、设备供应商（科惠力）在政府和行业支持下正式启动了两微米项目，把微米级形貌扫描测量应用在精密加工过程中，对现有制造能力进行全面的提升。

2010年1月，上汽通用五菱、上海交大以及科惠力成立了两微米项目，组成产学研团队，共同探索发动机制造过程中关键尺寸、形位公差对发动机性能的影响关系，以及发动机制造精度与性能匹配的关系。两微米项目采用了高精度平面检测设备进行数据测量分析，其测量原理为光学干涉3D成像技术。

1 光学干涉3D成像测量原理

1.1 光学干涉3D成像的原理

当两列或几列光波在空间相遇时相互叠加，在某些区域始终加强，在另一些区域则始终削弱，形成稳定的强弱分布的现象就是光的干涉现象（如图1、图2）。

图1 平面波纹干涉图

图2 立体波纹干涉图

光产生稳定干涉有以下两个条件：

（1）两列光波的频率相同；

（2）位相差恒定，振动方向一致的相干光源。

1.2 光学干涉3D成像的应用

干涉是波独有的特性，科学家为了验证光是波，而对光进行了干涉实验，光学干涉3D成像正是建立在这个基础上不断发展的。目前光学干涉3D成像技术主要应用在：摄影业，医学科内窥检测，军工业，制造业平面测量等。……