范锦彪，祖 静，林祖森，徐 鹏，赵晓东

（中北大学 电子测试技术重点实验室，太原 030051）

高g值加速度传感器的校准，开始于20世纪60年代，并提出了多种校准测量方法，其中以冲击力法、速度改变法和激光绝对法应用较为广泛，且先后成为国际标准 ISO5347-0（1987）、ISO16063-1（1998）和ISO16063-13（2001）规定的校准方法［1-3］。

国外，德国PTB国家实验室率先采用ISO 16063-13“激光干涉绝对法冲击校准”推荐使用的绝对测量方法，实现了对冲击加速度计的绝对法校准，在参考加速度峰值（10～500）g及（500～10 000）g，冲击脉冲持续时间分别为（0.8～10）ms及（30～300）μs的范围内，实现了对冲击加速度计的绝对法校准，校准的不确定度在（0.3% ～1%）之间［4］。日本国家计量技术研究室（NRLM）在参考加速度峰值（20～10 000）g，冲击脉冲持续时间（10～100）μs范围内对冲击加速度计的动态特征进行了一系列研究［5］。美国Sandia国家实验室则从应用的角度对采用霍普金森杆技术对高g值加速度计的性能进行了大量的研究。Forrestal和Togami等人［6-7］研究了侵彻测试用高g值加速度传感器性能的评价方法——Hopkinson杆技术，给出了评价加速度计性能的数学模型和实验数据曲线。

国内，北京长城计量测试技术研究所［8］利用激光光栅干涉技术实现了高g值加速度传感器的绝对法校准，在10～105g的范围内校准的不确定度可以达到3%。李玉龙等［9］利用Hopkin-son杆加速度校准系统来确定高冲击加速度传感器的灵敏度。王圣佑［10］采用差动多普勒测速系统和自行设计制作的小型空气炮，成功地对量程为105g的加速度计进行了冲击校准。黄俊钦等［11］利用气体炮原理研制了加速度计动态校准装置和系统，由加速度计底座直接碰撞硬质合金冲击底座产生的105g冲击加速度峰值。……