舒 强，施宁平，饶学军，郭友明

（1.中国科学院 光电技术研究所，成都 610209 2.中科院研究生院，北京 100049）

国内外学者对基于压电陶瓷驱动的微定位平台作了广泛研究。从结构上，主要分为串联和并联两种类型。由于加工和装配误差产生的不对称性，串联结构的微定位平台运动并不能保证严格的直线性。在光纤焊接，光刻掩膜对准等应用中，对运动直线度的要求非常高，采用串联结构的微定位平台难以保证运动的直线性［1］。而并联结构的微定位平台，所有的驱动器同时作用在动平台上，因而能够校正运动偏差，有效提高运动精度。然而，并联结构的微定位平台的各自由度上存在运动耦合，其控制要比串联结构复杂，采用单一的PI控制技术难以奏效。LQG控制是现代控制理论和最优控制技术发展过程中的重要成果，尤其适合多输入多输出的控制对象，在航空航天领域，飞行器控制，过程控制和社会学等领域都有很多成功的应用案例［2-3］。

在很多应用场合，外界振动降低了微定位平台的定位精度。在激光长距通信技术中，地基极其轻微的振动都有可能导致激光束产生偏转［4］。为了减小地基振动的影响，通常采用的方法是隔离振源，提高结构的固有频率，或者采用更昂贵复杂的主动控制技术。这些方法通常需要提高部件的强度导致质量变大或者额外的设备，在某些应用场合受到限制。本文在LQG控制基础上引入噪声模型，通过仿真发现能够很好的抑制确定频率分布的窄带随机扰动。……