安玲玲

(闽南理工学院 电子与电气工程系，福建 石狮 362700)

聚合物涂层法电光检测技术研究

安玲玲

(闽南理工学院 电子与电气工程系，福建 石狮 362700)

研究了针对于集成电路的聚合物涂层法电光检测技术，测量了模拟和数字的集成电路，从实验上取得了很高的系统空间分辨率。

电光检测;空间分辨率;聚合物涂层

0 引言

随着集成电路集成度的提高和多芯片集成技术的应用，对工作在几个GHZ以上的高速集成电路的测量和分析变得至关重要，现在高速集成电路测量的主要问题已不再是外部特性的整体测量，而是对集成电路内部进行无侵扰的动态在片测量。传统的GaP电光探测技术在测试的水平和精度上满足不了集成电路的发展需要。但较之于GaP测试系统，聚合物涂层法没有GaP与集成电路间的会造成电场大部分损失的空气缝，也没有GaP下表面会形成极化电荷电场屏蔽的介质反射膜，而且当信号线宽度小于探测光直径时，其金属线外的探测光将全部透射损失掉，可辅助增强空间分辨率，提高检测的效果。

1 聚合物材料的极化

由于聚合物材料具有低散射和快速的电响应以及介电常数小和透明波长短等明显优点，使它们在集成光学和高速光开关及电光调制器上变得越来越重要。由于有机材料的二阶非线性光学效应与线性电光效应是相关的，因此对有机材料电光方面的研究和应用也迅速发展起来。在电光测量中空间分辨率的高低是衡量集成电路测量的重要参数。……