刘 波，丁立莉

（西安航天计量测试研究所，陕西 西安 710100）

1 引言

目前已建立的真空检漏校准系统，根据其工作原理主要分为定容法、恒压法、检漏仪比较法、四极质谱计相对比较法等。由于这些方法校准范围小、测量不确定度大、稳定性及线性差等因素，导致校准结果始终无法令人满意。各国真空专家都在试图寻求一种新的校准方法来解决这一难题。

德国联邦物理技术研究院（PTB）在气体微流量计量方面做了大量深入细致的研究工作[2]，特别是在固定流导法方面，使真空漏孔漏率的校准精度大大提高。作者借鉴他们的工作经验，采用固定流导法建立了一套真空检漏校准装置，该套装置主要用于通道型标准漏孔及薄膜渗氦型标准漏孔的校准。为了保证校准数据的准确可靠，需要对该装置的不确定度进行分析和评定，同时通过评定可以对该套装置性能进行较为深入的研究，为日常计量校准及报告的编写提供技术依据。

2 校准装置及工作原理

2.1 装置的构成

固定流导法真空漏孔校准装置由固定流导法流量计、校准系统、被校漏孔及控制单元四部分组成（如图1所示）。固定流导法流量计主要由流导小孔、稳压室、阀门、电容薄膜规、抽气机组等组成。校准系统由校准质谱分析室、四极质谱计、高真空电离规、抽气机组组成。被校漏孔主要包括各种型号规格漏孔、高精密真空压力表及阀门等。控制单元包括数据采集系统及控制机柜等。

图1 真空漏孔校准装置示意图