胡小秋 吴笑天 袁军堂 于斌斌

南京理工大学，南京，210094

基于涂覆技术的微小零件精密加工复合方法研究

胡小秋 吴笑天 袁军堂 于斌斌

南京理工大学，南京，210094

分析了微小零件精密加工常用的方法及存在的问题，提出了基于涂覆技术的微小零件精密加工复合方法，并论述了其基本思想、工艺路线及研究意义，讨论了其关键技术。该精密加工复合方法集成了精密加工技术、测量技术和表面涂覆技术等，将去除加工与累积加工两种加工方式相结合，先切削后涂覆，可达到精密加工的技术要求，保证了加工精度和表面质量的同步提高。

微小零件；精密加工；涂覆技术；复合方法

1 微小零件精密加工常用的方法及存在的问题

随着微小零件的广泛应用，对其加工精度的要求也不断提高。现有的各种成形加工方法难以满足对工件材料、加工精度、生产效率及生产成本的诸多要求，探索一种低成本、高效率的微小结构件超精密复合加工新方法具有重要意义［1］。

按成形方式的不同，加工可分为去除加工、变形加工及累积加工三种方式［2］。微小零件制造精度介于MEMS技术［3］与传统精密以及超精密加工技术之间。微小零件的制造技术主要有以下三种：

（1）比较成熟的以硅微工艺和LIGA技术［3］为代表的微电子技术，即MEMS技术。这种加工技术属于去除加工方式，主要用于半导体材料加工，可实现零件的大批量生产。但存在着材料去除率较低、加工设备昂贵、加工材料单一等问题，且三维构件加工能力较差。……