吴国伟，汪 晶，方小利，刘文秋，李美亚,朱永丹,2,*

(1.武汉大学 物理科学与技术学院，湖北 武汉 430072；2.湖北民族学院 信息工程学院，湖北 恩施 445000)

在纳米材料的发展研究过程中，纳米材料的制备技术、表征方法、性能及应用研究成为了当前新材料研究的重点[1].其中纳米结构材料的制备及应用开发研究更是当前新材料和器件研究的重中之重[2-6].要制备纳米结构材料，最常用和有效的方法是模板法.目前用作制备纳米结构模板的方法主要有纳米孔阵列阳极氧化铝膜、多孔硅和有孔的聚合物等[7-9].其中多孔阳极氧化铝薄膜凭借其自我组装能力和六角对称的有序多孔结构，引起人们的广泛关注.多孔阳极氧化铝薄膜(anodic aluminum oxide，简称AAO)是铝在酸性或弱碱性电解液中经过阳极氧化的电化学腐蚀产生的，它的口径大小基本一致，成六角对称排列.由于具有高纵横比、高有序性、纳米级的孔径、尺寸可调等特点，使其成为一种合成各种金属和半导体纳米线或纳米管的常用模板[10].由于传统的AAO模板法生成的致密阻挡层导电性差，不能直接用于电化学组装，很难满足实际纳米材料器件的制备要求.如果这种自组织结构能被移植到硅基上，并且与传统成熟的硅平面工艺相结合，必能在未来的纳米电子学和纳米光电子学发挥重要作用[11].

1 实验方法

将硅片在乙醇、丙酮、去离子水中分别超声10 min.在P型<100>晶向，电阻率2 Ω·cm的清洁硅片上，先用电子束蒸发一层Ti膜作为过渡层，随后在……