刘强，高力伟，王伟，曹旺辉，王子羲

(1.北京石油化工学院精密电磁装备与先进测量技术研究所，北京 102617；2.清华大学摩擦学国家重点实验室，北京 100084)

0 前言

Mini/Micro LED是新一代极具潜力的显示技术，与传统LCD和OLED显示相比，具有高亮度、无拼接缝隙、快响应等优势[1]。Mini/Micro LED显示屏制作工艺流程包括芯片外延、巨量转移、坏点修复、封装等环节，其中巨量转移是Mini/Micro LED显示屏难以量产的卡脖子难题。巨量转移依靠视觉测量系统、运动定位平台和芯片剥离系统配合将数百万计的LED芯片从源基板快速准确转移至目标基板[2]，其中运动定位平台根据构型不同分为“十字”型和“H字”型(H型)。前者结构简单，控制难度低，但承载力小，无法满足平台大载荷、大行程的运动需求；后者采用双直线电机驱动，承载能力强，能更好实现重载荷、大行程的运动定位。

H型平台驱动方式有旋转电机+滚珠丝杆和直线电机驱动两种。较旋转电机+滚珠丝杆方式，直线电机具备无机械传动环节、结构简单及摩擦力小的特点，是H型平台高精度、快响应的重要驱动方式[3]。本文作者研究的H型平台采用双永磁直线同步电机(Permanent Magnet Linear Synchronous Motor，PMLSM)驱动，较其他直线电机具有大行程、大承载力和控制难度低的特点。尽管双臂电机参数、规格一致，但电机参数摄动、横梁负载扰变和机械耦合等因素仍会导致电机运行不同步[4-5]。因此H型平台运行的关键在于如何实现电机的高精度同步控制。

H型平台双电机的高精度同步控制主要有并联式、串联(主从)式和交叉耦合式3种控制拓扑[6-7]。……