陈大兴* 杨 慧 金良韵 赵君朋

（首都医科大学中心实验室，北京 100069）

1 前言

透射电镜是研究微观领域的重要分析手段，在基础医学、、临床医学、材料科学等领域有着广泛的应用。透射电镜对真空度的要求很高，目前采用机械泵—油扩散泵—离子泵三级真空系统。机械泵是利用气体膨胀、压缩、排出的原理，把气体从容器里抽出的。机械泵的正常运转对于电镜真空系统非常重要，因为它是三级真空系统的第一级，机械泵不工作，导致扩散泵离子泵不能正常启动，抽真空无法正常进行。我校2010年购买了一台日本电子2100透射电镜，经过多年的运转，机器有所老化，出现各种故障。本文介绍一例透射电镜机械泵的维修案例，分析故障现象产生原因及进行排除，最后对本案例进行分析讨论。

2 故障表现

电镜开机后，机械泵不能正常运转，同时扩散泵离子泵不能正常启动，抽真空无法正常进行。

3 分析检查

由于机械泵不能正常运转，首先怀疑是机械泵本身故障引起的。原因可能为：

主机电源未打开，继电器的触点接触不良；泵启动瞬间的起动电流大，导致保险丝烧断；电源柜上的FH25 和FH26 非正常工作；泵体零件磨损，需要更换零件，皮带断裂或皮带打滑，需更换皮带；油位偏低，密封件有泄漏。

首先检查其供电电源及供电电路，检查是否有断路及继电器的触点接触不良，进一步拆开马达，检查线包及轴承磨损情况，经过检查发现主机电源已经打开，继电器的触点无接触不良。检查保险丝，未发现烧断。检查电源柜上的FH25和FH26，确定处于正常工作状态。检查泵体零件和皮带，未发现零件磨损，未发现皮带打滑断裂。检查泵油时发现泵油明显减少，油位低于玻璃窗中弯月面标准线，提示必须加油，仔细观察地面，发现有大片干的油迹，明显是漏油引起的，怀疑是油封损坏引起漏油。

4 故障处理

电镜正常关机，确定完全关闭RP泵。在放油口的出口处准备一个油容器和一个含有吸油剂的塑料袋。在泵壳和电机之间放置一块废布，以免油污溅到电机上。松开排油M10六角形螺栓并排空油（图1所示）。

图1 排空机油

完全排空机油后，拧紧放油螺栓，以防止异物进入，并且没有被O 形圈等卡住。打开侧板松开固定电动机的螺丝，轻轻提起电机，然后重新拧紧螺丝，拆下皮带，并清洁电动机和泵的皮带轮槽（图2 所示）。

图2 清洁皮带轮槽

预先疏油，用附在油封上的螺栓将皮带轮松散地固定，逆时针旋转连接在轴上的螺母，卸下皮带轮。将两个螺栓插入皮带轮的螺孔中，然后一个接一个地拧紧，皮带轮将向前方伸出（图3 所示）。

图3 卸下皮带轮

卸下4个内六角螺栓，然后卸下油封，确定已经损坏。由于泵轴及其附近很脏，进行清洁。更换吸收轴上泄漏油的吸收棉，它位于油封部分的下方，然后插入新的油封（图4所示）。按照拆卸的相反方式安装皮带轮和皮带等，从进油口缓慢倒入机油，并在看到油位到达标线时停止倒油。

图4 更换油封

5 结语

电镜开机后，机械泵不能正常运转，同时扩散泵离子泵不能正常启动，抽真空无法正常进行。对于这一故障现象分析排查，确定是机械泵漏油和油封损坏所引起的。这要求对机械泵要定期检查维护，发现问题及时处理［1，2］。目前我们工作中使用电镜真空系统检查记录本，把每次检查的结果进行记录，方便日后查阅。

每月检查泵油油位及颜色变化，如果油位低于标线，及时补充泵油。如果泵油颜色变成深褐色，考虑泵油很脏，需要全部更换泵油。对机械泵油的性能要求主要是：有适当的运动黏度和黏度指数，饱和蒸气压低，抗乳化性好，化学稳定性和耐热抗氧化性好，闪点高等。我们所使用的泵油是日本电子生产的泵油，型号为MR-200A。如果检查发现泵油由澄清转为泛白或乳白，说明泵油有乳化现象，泵油中含有可凝气体，要及时进行气镇。如果地面上有油渍，怀疑可能是油封损坏。此外对于机械泵的检查，还包括每半年检查皮带的磨损情况，如发现磨损严重及时更换皮带。观察油封有无损坏，如有损坏及时更换等［3-5］。