李 洋，卢正杰，张 奎

（上海天汉环境资源有限公司，上海 201306）

近年来，受国际形势及经济发展的驱动，我国电子工业高速发展，半导体等行业的发展已列入国家“十四五”规划，相关化学品的需求逐年增多，作为其中关键化学品，电子级磷酸的需求增长显著。电子级磷酸又被称为超高纯磷酸，是磷酸工业皇冠上的明珠，主要用于芯片的清洗、蚀刻，其洁净度和纯度对电子元器件的性能、可靠性及良品率影响很大，例如，在晶圆的加工过程中，若其被杂质污染，将导致集成电路（IC）的产率下降约50%。因此，为了保证产品的可靠性，获得高产率的大规模集成电路，电子工业必须使用高纯电子级磷酸进行清洗，并不断将新电子级磷酸补充到生产过程。随着集成电路规模逐年增大，含磷酸废液产生量不断上升。

1 含磷酸废液的产生

面板行业和集成电路行业是电子工业的典型代表，电子级磷酸在其中应用广泛，其实际的使用工艺有所差别，产生的含磷酸废液有很多不同特性。

1.1 磷酸在面板行业的应用

在薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）的制作工艺中，钼铝金属层蚀刻用的蚀刻液主要由磷酸、硝酸及醋酸混合而成，各自的比例介于60%～65%、1%～5%、4%～6%。反应机制主要为：先利用硝酸的强氧化性将铝金属层氧化成氧化铝，再由磷酸与氧化铝反应生成可溶性的磷酸铝，其中醋酸为缓冲溶液，扮演H提供者的角色，使蚀刻率维持稳定。

1.2 磷酸在集成电路行业的应用

在集成电路的生产过程……