梁虎

上海交通大学研究生院 上海 200030

化合物半导体最少由两种元素所构成，当前常用的化合物半导体材料有很多，主要有磷化镓、氮化镓、磷化铟、砷化镓，这些材料是第二代半导体、第三代半导体的代表材料，不仅在具有较高的频率，还具有较高的功率，人们将其应用在了很多产业中，如：新能源产业、通信产业等。

1 化合物半导体特性

（1）砷化镓半导体特性。对于化合物半导体来说，砷化镓不仅是一种至关重要的半导体材料，还是一种可以被应用在多方面的半导体材料。当前，在所有的化合物半导体中，人们对砷化镓的研究最多，所生产的量也最大。从电子迁移率方面来说，砷化镓的电子迁移率较高，比硅的电子迁移率高出五六倍；从光电特性方面来说，砷化镓有着较好的光电特性，可以做成两种器件，一种是激发器件，另一种是发光器件；从禁带宽度方面来说，砷化镓有着较大的禁带宽度，工作温度较高；从本征载流子浓度方面来说，砷化镓有着较低的本征载流子浓度；从耐热方面来说，砷化镓有着良好的耐热性；从抗辐射性方面来说，砷化镓有着良好的抗辐射性；从磁场方面来说，砷化镓对磁场有着较高的敏感性。砷化镓是一种较为稀少的资源，由于其具有稀缺性，因此砷化镓的价格较高，比硅的价格贵十倍左右。坤化物具有毒性，能够对环境带来污染，虽然人们对砷化镓的毒性进行了研究，但仍未完整的研究出其毒性。坤材料具有易挥发性，人们在利用坤材料制备砷化镓时，应注重化学计量比。……