邓松良，李 健

（新疆矿产实验研究所，新疆 乌鲁木齐 830000）

任何物质的所有特性都与其形态（表面形态）、化学成分和结构有关。 过去，形态的观察主要依靠光学显微镜，通过物质的光学和物理性质来评估；化学组成多采用化学分析法来测定；其结构通过 X 射线衍射、电子衍射和中子衍射进行分析[1]。电子探针显微分析仪（简称电子探针）的问世，为测定微米级固体材料的组成、结构和表面形貌提供了有效的工具，是测试技术发展史上划时代的辉煌成就。近年来，随着电气自动化工业的迅猛发展，新一代电子探针具有数字化、人工智能和自动化的分析程序、高分辨率图像的采集等特点，很快就在地质学等领域得到广泛的应用[2]。如今电子探针已成为新矿物成份分析的主要手段，每年用电子探针发现和分析的新矿物占总数的50%，有时达70%以上[1]。

1 电子探针分析的特点

电子探针分析是用聚焦到1μm左右的高能电子束轰击样品，样品中的照射区域发出其组成元素的特征X射线，通过分析特征X射线的波长和强度来确定微区的化学成分。可以进行点、线、面三种形式的分析，对研究矿物中元素的赋存状态、共生关系、出溶结构、析晶等特别有利。此外还有二次电子像、背散射电子像、矿物阴极荧光像等，为进一步研究样品的表面形态、成份、晶体结构提供更多的信息。在地质实验测试中的应用主要有以下特点：

（1）微区、微量：可以直接在岩石光、薄片上测定矿物的化学成分。……