王志海，吕国振，郝 伟

（三一海洋重工有限公司，广东 珠海 519000）

磁流体密封传动装置同时具有密封和传递动力的功能，广泛应用于真空设备。通过安装于真空腔室外部的多个磁流体密封传动装置驱动真空腔室内部多个传动辊是常见的传动形式，具有结构简单、维护方便等优点，同时具有综合密封可靠性低的缺点。针对上述问题，本文提出了一种多个磁流体密封装置安装结构新形式，可以大大提高综合密封可靠性。

1 磁流体密封的应用原理和应用领域

磁流体密封是利用磁流体在磁场作用下填充在密封间隙内，形成液体“O”型密封圈，如图1所示，磁极与轴的间隙内充入磁流体，磁流体被磁场力吸附在间隙内具有密封作用。

图1 磁流体密封原理

磁流体密封主要应用于真空设备密封，例如航空航天设备、半导体设备、真空镀膜设备等[1-2]。

2 应用于箱式真空腔体的多磁流体密封传动装置的传统安装结构介绍

在真空设备领域，箱式真空腔体具有制作容易、性价比高的优点，通常采用多个箱式真空腔体连接组成真空设备，如图2所示，一台中型真空镀膜设备由15个箱式真空腔体串联组成，每个真空腔体的传动结构如图3所示。磁流体密封传动装置（下文简称磁流体）的主体安装在真空腔室外部，其大气侧传动轴安装同步轮传动装置，其真空侧传动轴通过联轴器连接传动辊；减速电机安装在真空腔室外部，其驱动轴安装同步轮，通过同步带传递驱动力驱动磁流体传动轴转动，带动传动辊转动。……