邹华东 林胜鹏 刘锴洋 张志田

(清远职业技术学院机电与汽车工程学院，广东 清远 511510)

表面粗糙度对零件的耐磨性、配合性质稳定性、疲劳强度、抗腐蚀性、密封性和表面光学性能等有重要的影响，对机加工工件的表面进行评定是机械加工行业里的一个较为广泛的需求[1]。触针式表面粗糙度测量仪作为一种高精度的精密表面评定的仪器，在精密加工行业得到了较为广泛的应用。

在触针式表面粗糙度测量仪中，用于感测工件表面的起伏变化的传感器件通常有差动式电感传感器和其他的基于光学方法的传感器；而差动式电感传感器由于其成本低廉、精度高和性能稳定被广泛采用，对于电感传感器的处理电路通常采用相敏检波电路；目前国内使用较为广泛的是中原量仪生产的电感测微仪系列，其将电感传感器由于触针上下移动导致的电感变化量通过信号处理电路进行处理后转化为电压信号，并且驱动指针左右偏摆，用户可以通过指针偏摆量的大小来评价表面加工的精度。而随着电子技术和计算机技术的飞速发展，有研究者将电感测微仪改造成数字式表面粗糙度测量仪，其首先将电感测微仪的电压量取出，通过AD转换变为数字信号送给计算机，并通过计算机软件的数据处理得到工件的表面粗糙度信息[2]。这种改造虽然方便，但是该类型的电感测微仪只对中原量仪生产的电感传感器配合度良好，且价格较高，因此研究具有广泛适应性的低成本信号处理电路就很有必要。……